ITO薄膜等离子表面处理改善亲水性

文章出处：本站 | 网站编辑：深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-07-28

有机电致发光器件(OrganicElectro－luminescentDevice，OLED)，因其自发光，亮度高，可视角度大等诸多优势，在显示和照明领域备受青睐，具有极大的应用前景．在最近几十年里，OLED发展迅速，在实用方面取得了很大的进展．由于氧化铟锡(IndiumTinOxide，ITO)导电薄膜具有良好的导电性，以及在可见光范围内具有较高的透光率，使之广泛应用于光电领域，在有机电致发光领域也常常作为OLED的阳极材料。在OLED中，由于ITO可直接与有机薄膜接触，所以使得ITO的表面特性如表面有机污染物含量、面电阻、表面粗糙度和功函数等对整个器件性能起着重要作用，改变ITO的表面特性便可影响OLED的性能．目前处理ITO的方法主要分为物理方法和化学方法两种．物理方法主要是等离子处理和抛光处理，化学方法主要包括酸碱处理、氧化剂处理以及在ITO表面增加有机和无机化合物．其中，等离子处理被认为是最有效的处理方式。

采用氧等离子体表面处理不仅可以有效地清洁ITO表面,而且可以提高ITO的功函数,减小由ITO向有机物注入空穴的势垒,还可以提高ITO表面的浸润性能,改善有机物在ITO薄膜上的成膜性能等,进而可起到改善OLED光电性能的作用。因此氧等离子体处理被广泛地应用于OLED器件的研究和制造中。

等离子体表面处理的ITO表面亲水性变化