等离子清洗MEMS传感器，能获得较为干净的金属层粘接表面，且提高了金属层的表面能，使胶粘剂在金属层上容易润湿，从而提高了胶粘剂与金层的界面结合力。
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采用Ar和H2的混合气体对引线框架表面进行等离子清洗，可以有效去除表面的杂质沾污、氧化层等，从而提高银原子和铜原子活性，大幅提高焊线与引线框架的结合强度，提高产品良率。
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采用氧等离子体表面处理不仅可以有效地清洁ITO表面,而且可以提高ITO的功函数,减小由ITO向有机物注入空穴的势垒,还可以提高ITO表面的浸润性能,改善有机物在ITO薄膜上的成膜性能等,进而可起到改善OLED光电性能的作用
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等离子体清洗不但可以清洗晶圆表面，还可以提高表面活性，提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，亲水性等，优势十分明显，因此等离子清洗在纳米压印行业中应用前景极其广泛。
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深圳市南山区港深创新园G栋523-524
张经理17304403275
