等离子清洗机大概由电源、匹配器、腔体、电磁阀、流量计、外接气体、真空泵和控制电路组成。当出现故障报警时，首先要根据屏幕上的报警提示，检查报警发生在哪个部位，从而确定故障的大致部位，然后再检查相关部位的执行机构是否异常。检测控制电路故障最直观简单的方法就是用万用表检测是否有短路或开路，电压电流是否正常。如果想不用万用表排除故障，最快的方法就是更换万用表。首先根据屏幕提示确定故障位置，然后更换相同的部件。如果电气元件，如交流接触器、热过载、中间继电器、相序保护器、流量计等元件出现故障，问题会很快得到解决。

　　如果是气体欠压报警，则需要确认相关气体进口是否有气体连接，气体压力和压力调节阀、流量计、电磁阀、模拟量接线是否正确，屏幕参数的相关参数是否设置正确。当真空度过高或过低报警必须先看参数设定，当真空度过高切割参数设定好后，就要查明是否有腔体和管道泄漏，真空泵的泵压是否正常，最快捷的方法是直接测量真空泵是否达到标准上方的真空泵配备自己的真空计。如果真空泵的真空值正常，这意味着真空泵没有问题，然后将仪表连接到真空管进行测量，测量结果显示，如果真空值远高于真空泵正上方的真空值，则真空管泄漏。管道泄漏可能是管道接头的泄漏或管道破裂的泄漏。管道虽然是金属不锈钢材质，但每次泵送管道时由于振动和周围部位的摩擦，时间长了，管道也会出现磨损。如果直接在真空泵上测得的真空值与连接在真空管上的测量仪器测得的真空值没有明显差别，那么真空管也是好的。接下来我们要找到空腔密封上漏气的位置，空腔内可能发生漏气的地方是密封条、玻璃窗、排水管与外部的连接、电极与空腔外部的电极连接、空腔与外部连接之间的孔，最常见的漏气地方是密封件和玻璃窗。

　　电源和匹配器的故障在触发故障时也会在屏幕报警窗口显示相关提示信息，但有时会因为参数设置等原因触发误报警信息，要根据情况具体分析。当电源或匹配器出现故障时，首先确认参数设置是否正确，然后检查设置的电源输出的接线和电压信号是否正确合理，匹配器与电源的串行通信是否正常，然后进行手动调试。如果匹配器参数调试完毕，按下增减按钮时相关参数没有明显变化，则匹配器故障，调整电源功率时，电源故障。