工业批量生产的真空等离子清洗机连续运行时间往往在8小时以上。在这种情况下，真空等离子清洗机的真空反应室内的所有部件，包括反应室体、电极板、支架和附件的表面温度都比较高。如果没有相关的冷却循环系统，不戴绝缘手套很容易烧伤产品或材料。同时，如果处理环境温度过高，一些不耐温的产品或材料会造成物理变形、表面变色或炭化，甚至影响等离子体处理效果。那么如何解决真空等离子清洗机产品的散热问题呢？这是这个行业的一大痛点。今天，我们普锐斯的工程师想和你讨论一下。

　　1、真空等离子清洗机处理产品或材料的反应机制。

　　真空等离子清洗机在低压反应室内加工产品。基本操作流程是将待加工物体置于支架或电极上，关闭反应室门，然后将真空泵送至背面设定的真空值，相应的工艺气体进入，真空度保持在20-100Pa范围内，工艺过程包括等离子体清洗、等离子体活化、等离子体刻蚀和等离子体聚合等。在整个反应完成后，用压缩空气或氮气，进行破空，取出物件。

　　2、真空等离子清洗机的放电工作原理和热的形成

　　从真空等离子体清洗机的反应机理来看，等离子体放电环境是在一个封闭的室内，并保持一定的真空度，这是关键！当气体处于低压时，分子之间的距离较大，作用在分子上的力较弱。当电场或磁场加速种子电子与气体分子碰撞时，等离子体就形成了。

　　2-2等离子体由电子、离子、自由基、激发态分子和原子、基态分子和光子组成。表面上它是电中性的，但实际上它有很强的电、化学和热效应。

　　2-3真空等离子体清洁器产生的等离子体是非平衡等离子体，气体温度远低于电子温度，电子质量可以忽略不计;即使如此，电子温度也在几十度左右，这样，在等离子体产生和损失的过程中，碰撞、辐射和键合产生了大量的热量。一小部分热量被真空泵吸走，大部分热量留在真空反应室中。