等离子体清洗机由电源、适配器、空腔、电磁阀、流量计、外部气体、真空泵和控制电路组成。当出现故障报警时，我们首先应该看看屏幕报警发生的部分，从而确定故障发生的大致位置，然后再看各执行机构的相关部分是否有例外。控制电路故障检测最直观、最简单的方法是用万用表来检测是否有短路或断路，检测电压和电流是正常的。如果您没有万用表，解决问题的最快方法是更换它。首先，根据屏幕上的提示大致确定问题的位置，然后用相同的元件替换，如果电气元件，如交流接触器、热过载、中间继电器、相序保护器、流量计等元件发生故障，这将很快解决问题。

　　如果是气体欠压报警，需要确认相关进气口是否有气体，气体压力、调压阀、流量计、电磁阀、模拟接线是否都正常，屏幕参数相关参数设置是否正确。真空度过高或过低，首先要看参数设置。真空度过高，参数设置OK的情况下，一定要搞清楚腔体和管道是否有泄漏，真空泵的抽空压力是否正常。最快的方法是将真空测量仪直接与真空泵相连，测量真空泵的抽真空值是否能达标。如果真空泵的抽空值正常，说明真空泵正常。将测量仪器连接到排空管道进行测量。如果抽真空值高于直接连接真空泵的抽真空值，则证明抽真空管道泄漏。管道泄漏可能是由管道接头泄漏或管道损坏引起的。虽然抽真空的管子是不锈钢的，但是如果每次抽真空的时候管子都和周围的某个部位发生晃动和摩擦，时间长了管子就会磨损。如果连接在抽气管上的测量仪器测得的真空值和真空泵直接测得的真空值没有明显差别，说明抽气管也是好的。接下来，只能找到空腔的泄漏位置。腔体可能的泄漏位置是密封条、玻璃窗、抽真空接头和外部连接、电极到腔体的外部连接以及腔体意外和外部连接。最有可能泄漏的位置是密封条和玻璃窗。

　　电源和匹配器的故障也会在进行故障触发时在屏幕报警窗口示相关研究提示信息,但有时也会因为这些参数通过设置等原因触发误报信息，这个要根据实际情况而分析。当电源管理或者匹配器出现问题故障时首先我们确定一个参数需要设置工作都是没有正确的，再检查接线线路及设定功率输出的电压信号处理是否都正确科学合理、匹配器和电源发展之间的串口通讯技术是否能够正常,然后手动调试，如果调试匹配器的参数，按下增减按钮时相关产品参数无明显发生变化，则说明匹配器故障，调节电源功率大小时，电源功率输出无变化则说明电源故障。