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真空等离子清洗机的特点

文章出处:本站 | 网站编辑:深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2022-07-22
  接下来深圳纳恩科技有限公司小编跟大家介绍一下真空等离子清洗机产品特点,以下就是具体内容。
  1、射频电源功率选择为0到600W可调,频率选择为13.56MHz,同时采电源匹配系统来调节负载阻抗,以保证最佳的等离子密度和可重复性。
  2、电极板主体由不锈钢材料制成,通过电极接头可选择的与电源正极或负极连通,电极板由两侧的绝缘块固定在真空腔体中,整个电极系统可跟据不同需求选择电极板的极性与间距,以获得最合适的等离子体。
  3、供气系统采用高精度流量计来精确调节工作气体的流量,同时采用高稳定性的真空泵来实现废气的均衡排放。
  4、它有着非常高的可靠性和稳定性、高效的功率输出、紧凑的结构设计、体积小、重量比较轻、非常完善的保护功能等特点。
  5、前设开门,后研排孔、电源线孔,侧面开进e孔,以便于形成动态循环、能够均匀进气提高清洗的效果。
  6、两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对清洗效果的影响。
  7、真空室材料选用材料为316不锈钢作为放电腔体,耐腐蚀性能好、耐热性强、低温情况下的强度好,冲压弯曲等热加工性好,无磁性。
  以上就是深圳纳恩科技有限公司小编对于等离子清洗机的分享,希望能够帮助到大家。
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