等离子表面清洗技术-深圳纳恩科技有限公司

等离子表面清洗

等离子表面清洗主要依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。

等离子体与材料表面产生的反应主要有两种：一种是靠等离子做物理反应(physicalreaction)，另一种是靠自由基来做化学反应(chemicalreaction)。

等离子表面清洗与材料表面物理反应机理

等离子体与材料表面产生的物理反应主要是利用离子作纯物理的撞击，把材料表面的原子或附着材料表面的离子打掉，由于离子在压力较低时的平均自由基较轻长，有能量的积累，因而在物理撞击时，离子的能量越高，越容易产生撞击，所以若要以物理反应为主时，就必须控制较低的压力下来进行反应，这样清洗效果较好。

等离子表面清洗与材料表面化学反应机理

等离子体与材料表面产生的化学反应主要是利用等离子体里的自由基来与材料表面做化学反应，在化学反应里常用的气体有氧气、氢气、甲烷等，这些气体在电浆内反应成高活性的自由基，自由基的作用表现在化学反应过程中能量传递的“活化”作用，处于激发状态的自由基具有较高的能量，易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基，新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态，很可能发生分解反应，在变成较小分子同时生成新的自由基，这种反应过程还可能继续进行下去，最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。在这些情况下，会释放出大量的结合能，这种能量成为引发新的表面反应推动力，从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

等离子表面清洗与其他清洗方法相比具有独特的优势

✓ １）设置好参数后不需要人工干预，并可以精确控制清洗时间；
✓ ２）规范的等离子清洗过程不会对产品表面产生损伤，且清洗过程是在真空环境中进行，清洗表面不会被灰尘、氧化等二次污染；
✓ 3）等离子清洗是使用电能催化物理化学反应为手段，是一种干法清洗方式，它排除了所有湿法清洗带来的危险，且无废液产生，有利于环保和人员安全,；
✓ 4）等离子清洗机清洗效率高，应用范围广，对清洗样品，没有任何外观尺寸、材质等要求；
✓ 5）在完成清洗去污的同时,还能改变材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能,表面附着力等；